用于過(guò)程監(jiān)測(cè)和優(yōu)化產(chǎn)品品質(zhì)的分析設(shè)備

普發(fā)真空為真空處理過(guò)程中的氣體測(cè)定提供了各種不同的分析儀。從質(zhì)譜儀到復(fù)雜的分析系統(tǒng)，在我們這里您將會(huì)找到從超高真空范圍一直到大氣壓力的氣體分析解決方案。四極桿質(zhì)譜儀 PrismaPro 是氣體分析較基礎(chǔ)的設(shè)備。PrismaPro 是一個(gè)普遍適用的質(zhì)譜儀，其磁場(chǎng)軸技術(shù)保證了高靈敏度。它還具有高效率以及測(cè)量速度快的特點(diǎn)。

并且 PrismaPro 不僅僅顯示各自的分壓，同樣也可以檢測(cè)總壓力。它的界面接口使這款質(zhì)譜儀可以很容易地與氣體色譜儀連接。緊湊的設(shè)計(jì)，模塊化結(jié)構(gòu)和用戶友好軟件 使其成為泄漏檢測(cè)、半導(dǎo)體制造、玻璃鍍膜、冶金化工的理想設(shè)備。另外，在研發(fā)領(lǐng)域也有無(wú)數(shù)的應(yīng)用。普發(fā)真空為其客戶在所有這些領(lǐng)域中提供量身定制的解決方案。當(dāng)然，普發(fā)真空還提供所需的質(zhì)譜儀配件，例如各種離子源陰極。

什么是質(zhì)譜儀

質(zhì)譜測(cè)量是一種可以用來(lái)測(cè)量原子和分子質(zhì)量的方法。通過(guò)這種方式測(cè)量化學(xué)混合物成分的分壓來(lái)分析化合物。待分析的物質(zhì)首先被轉(zhuǎn)化為氣態(tài)的聚合狀態(tài)并且發(fā)生電離。電場(chǎng)使離子加速，使得它們?cè)谄涓髯缘馁|(zhì)荷比基礎(chǔ)上被分類和分離。然后測(cè)定氣體各種成分的分壓。每個(gè)質(zhì)譜儀包括一個(gè)離子源、一個(gè)質(zhì)量過(guò)濾器和一個(gè)檢測(cè)器。根據(jù)所采用的質(zhì)量過(guò)濾器來(lái)區(qū)分不同類型的質(zhì)譜儀 。由于其廣泛的應(yīng)用選項(xiàng)，四極桿質(zhì)譜儀具有可靠的測(cè)量表現(xiàn)。這些分析設(shè)備也經(jīng)常用于真空技術(shù)。

質(zhì)譜儀及其應(yīng)用

四極桿質(zhì)譜儀具有平行排列的四根電極桿，構(gòu)成了四極場(chǎng)。它們的交點(diǎn)與平面垂直于圓柱體軸線，形成一個(gè)場(chǎng)（因此命名為四極）。靜態(tài)電場(chǎng)使離子加速以后，離子飛過(guò)四極場(chǎng)。桿之間的四極場(chǎng)每次只會(huì)允許給定質(zhì)量的一個(gè)粒子通過(guò)，。四極桿質(zhì)譜儀提供高分辨率版本以簡(jiǎn)易版兩種型號(hào)供用戶用作殘余氣體分析。由于其頻率范圍寬，這類質(zhì)譜儀可應(yīng)用于眾多領(lǐng)域，包括從藥理學(xué)到環(huán)境分析領(lǐng)域。

四極桿質(zhì)譜儀是用于在真空系統(tǒng)中評(píng)估殘余氣體成分的經(jīng)典測(cè)量?jī)x。

質(zhì)譜儀為氣體成分質(zhì)量 - 電荷比供應(yīng)的離子電流提供有關(guān)真空系統(tǒng)在多個(gè)操作階段有用的信息，無(wú)論是用于確定安裝后的氣密性和無(wú)污染性還是在操作真空處理時(shí)用于其特性。

根據(jù)真空室和抽氣系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，在真空系統(tǒng)中獲得的壓力范圍決定了質(zhì)譜儀對(duì)檢測(cè)器的選擇。在高真空中，通常一個(gè)法拉第檢測(cè)器就足夠了，而在高真空中檢測(cè)非常低的氣體密度時(shí)，一個(gè)二級(jí)電子倍增器是必要的。另一個(gè)重要標(biāo)準(zhǔn)則是待檢測(cè)的質(zhì)量范圍。

在傳統(tǒng)的真空系統(tǒng)中，大氣中的氣體，例如氮?dú)?、氧氣、氬氣、水蒸汽等，通常受到輕烴污染是重點(diǎn)。為了檢測(cè)這些氣體，范圍在 1 至 100 原子質(zhì)量單位 (u) 之間的四極桿質(zhì)譜儀是理想的，因?yàn)樵谠摲秶鷥?nèi)顯示了良好的質(zhì)量分離。若較重的氣體及其組成成分也須檢測(cè)出來(lái)，如長(zhǎng)鏈烴，普發(fā)真空也為此提供了范圍在 1?200 u 或 1?300 u 之間的質(zhì)量過(guò)濾器。

開(kāi)放的離子源在大多數(shù)殘余氣體分析任務(wù)中是較佳選擇，因?yàn)樗鼈儗⒎€(wěn)健的設(shè)計(jì)與較高的檢測(cè)靈敏度相結(jié)合。憑借封閉或交叉束離子源，可有利地掌握必須分析氣體噴流或氣體流的任務(wù)。對(duì)于超高真空范圍，也可提供具有極低釋氣率的柵網(wǎng)離子源。由于有大量的部件可供選擇，且得益于普發(fā)真空四極桿質(zhì)譜儀的精確配置，質(zhì)譜儀可作為所有測(cè)量任務(wù)的較佳選擇。我們的產(chǎn)品和應(yīng)用專家擁有多年的經(jīng)驗(yàn)，將十分樂(lè)意為您提供有關(guān)殘余氣體分析儀配置方面的一些建議。

帶有法拉第檢測(cè)器的四極桿質(zhì)譜儀是用于高真空氣體成分定性分析的首選設(shè)備。

相比真空測(cè)量?jī)x，四極桿質(zhì)譜儀 (QMS) 可提供遠(yuǎn)遠(yuǎn)更多的有關(guān)真空的信息。在高真空中，往往一個(gè)法拉第杯就足夠用來(lái)獲取有關(guān)泄漏、水汽析出或碳?xì)浠衔镂廴镜男畔?。普發(fā)真空在此提供一系列具有不同測(cè)量范圍和燈絲材料的四極桿質(zhì)譜儀。

PrismaPro? QMG 250 F1, 1–100 u, 開(kāi)放式離子源

模塊化結(jié)構(gòu)的緊湊型質(zhì)譜儀可適合您的使用。有以下離子源可供選擇：具有極高靈敏度和線性的開(kāi)放式離子源，適用于殘余氣體分析和 HV 與極高真空范圍內(nèi)分析性任務(wù)。適用于與進(jìn)氣系統(tǒng)接合的氣密離子源。適用于直接進(jìn)氣的交叉臂離子源。格柵離子源特別針對(duì)極高真空內(nèi)殘余氣體分析，具有極低脫氣率和解吸率。

產(chǎn)品描述

點(diǎn)擊一下即可進(jìn)行泄漏檢測(cè)和真空診斷

測(cè)量方案定義簡(jiǎn)單

指示極限低

網(wǎng)絡(luò)通過(guò)以太網(wǎng)實(shí)現(xiàn)

PrismaPro 緊湊型質(zhì)譜儀

針對(duì) Windows 10/8.1/7 系統(tǒng)的 PV MassSpec 軟件，可用于測(cè)量數(shù)據(jù)的記錄、存儲(chǔ)和顯示

PrismaPro? QMG 250 F1, 1–100 u, 開(kāi)放式離子源, 鎢, I/O 選項(xiàng): 標(biāo)準(zhǔn)

點(diǎn)擊一下即可進(jìn)行泄漏檢測(cè)和真空診斷

測(cè)量方案定義簡(jiǎn)單

指示極限低

針對(duì) Windows 10/8.1/7 系統(tǒng)的 PV MassSpec 軟件，可用于測(cè)量數(shù)據(jù)的記錄、存儲(chǔ)和顯示