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?? 超高真空校準(zhǔn)? 超高真空計(jì)是超高真空全壓力精確測量的關(guān)鍵專用工具，為了更好地獲得精確的精確測量結(jié)果，必? 須對真空計(jì)開展校準(zhǔn)以確保在超高真空標(biāo)準(zhǔn)下運(yùn)用的可信性。除此之外，針對冷陰極電? 離規(guī)的離散系統(tǒng)，雖然生產(chǎn)商作了線形解決，但如果不開展校準(zhǔn)仍會產(chǎn)生非常大誤? 差。熱陰極水解規(guī)在線形檢測范圍需要做到測量精度也必須開展校準(zhǔn)。校準(zhǔn)是在專? 門的超高/極高真空校準(zhǔn)系統(tǒng)軟件中開展的?，F(xiàn)階段選用的校準(zhǔn)系統(tǒng)軟件有：分子結(jié)構(gòu)束法校準(zhǔn)系? 統(tǒng)、壓力衰減系數(shù)法校準(zhǔn)系統(tǒng)軟件、流導(dǎo)調(diào)制法校準(zhǔn)系統(tǒng)軟件和分流法校準(zhǔn)系統(tǒng)軟件。? 圖4-12所顯示為選用分流法和壓力衰減系數(shù)法的非常高/超高真空校準(zhǔn)設(shè)備，包含：極? 高真空系統(tǒng)軟件、超高真空系統(tǒng)軟件、總流量分流系統(tǒng)軟件和氣路系統(tǒng)軟件。分流法是將已經(jīng)知道總流量汽體? 導(dǎo)入分流室，根據(jù)分流室2個(gè)流導(dǎo)相距非常大的小圓孔(流導(dǎo)比約為100:1)分流到? 極高真空校準(zhǔn)室和超高真空校準(zhǔn)室。在動(dòng)態(tài)性標(biāo)準(zhǔn)下極高真空校準(zhǔn)室的壓力p為：

4-10)? p=QC(1-R)(1+Rc)? 式中Q讓人分流室氣體壓力，Pa·m/? Rn極高真空系統(tǒng)軟件抽真空限定孔返流? C-—極高真空系統(tǒng)軟件抽真空限定孔流導(dǎo)，m3/s;? Rc—分流室分流小圓孔流導(dǎo)比(注入超高真空室小圓孔流導(dǎo)和注入極高真空室? 小圓孔流導(dǎo)之比)

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式中的各主要參數(shù)R、C、Rc均能夠根據(jù)試驗(yàn)精準(zhǔn)測量，Q能夠由精細(xì)微蒸汽流量計(jì)? 得出。運(yùn)用校準(zhǔn)室壓力能夠?qū)Ρ恍?zhǔn)規(guī)開展肯定校準(zhǔn)? 在沒有蒸汽流量計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)下，能夠向分流室充進(jìn)一定壓力汽體，根據(jù)小圓孔向非常高真? 空校準(zhǔn)系統(tǒng)軟件打氣，穩(wěn)定平衡后極高真空校準(zhǔn)壓力被衰減系數(shù)為? p=pC1/C(l-Rp

(4-11)? 式中p穩(wěn)定平衡時(shí)分流室壓力(規(guī)范壓力規(guī)精確測量),Pa;? 分流室流入校準(zhǔn)室小圓孔流導(dǎo)，m3/s;? 該校準(zhǔn)設(shè)備的關(guān)鍵性能指標(biāo)為：校準(zhǔn)室極限壓力，極高真空校準(zhǔn)室為7.9? 10-0Pa,超高真空校準(zhǔn)室為2.3×10-9Pa;校準(zhǔn)壓力范疇，分流法2.1×10? 7.9×1010Pa,壓力法2.1×10-4~2.3×10-9Pa;不確定度低于0.41%~3.5%? 運(yùn)用該設(shè)備對反磁控冷陰極計(jì)和熱陰極超高真空計(jì)開展校準(zhǔn)得出修正系數(shù)和指數(shù)? 壓力曲線圖。校準(zhǔn)時(shí)間約為7天(包含規(guī)持續(xù)校準(zhǔn)2天時(shí)間)。? 為了更好地考慮常見的超高真空水解計(jì)的校準(zhǔn)規(guī)定，一般選用核對的相對性校準(zhǔn)方式? 該方式具備校準(zhǔn)設(shè)備構(gòu)造簡易、實(shí)際操作便捷、校準(zhǔn)高效率和應(yīng)用性強(qiáng)等特性。比對法? 超高真空校準(zhǔn)設(shè)備如圖4-13所顯示，校準(zhǔn)系統(tǒng)軟件選用圓柱型構(gòu)造，由抽制動(dòng)氣室和校準(zhǔn)室? 構(gòu)成，兩室中間選用一個(gè)圓洞限定流導(dǎo)。被校規(guī)和參照規(guī)各自安裝在校準(zhǔn)室地球赤道線? 的對稱性部位上。參照規(guī)采用IE514分離出來規(guī)，該規(guī)在非常高/超高真空校準(zhǔn)設(shè)備上開展? 壓力肯定校準(zhǔn)，不確定度1.8%。核對校準(zhǔn)系統(tǒng)軟件的性能指標(biāo)為：校準(zhǔn)系統(tǒng)軟件極限壓力? 5×10-9Pa、壓力校準(zhǔn)范疇10-7~10-5Pa、拓展不確定度≤10%(k=3)。

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