? 濺射離子泵的放電模塊中,從第一個(gè)電子器件到繁流電子密度做到(約1010個(gè)電
子/cm3)恒定值的時(shí)間r,稱之為啟動(dòng)時(shí)間,它是濺射離子泵的一個(gè)關(guān)鍵主要參數(shù)。啟動(dòng)? 時(shí)間的長(zhǎng)度在于啟動(dòng)壓力,在10-1Pa下,放電模塊的啟動(dòng)時(shí)間為幾納秒,壓力? 在10-Pa下的啟動(dòng)時(shí)間將長(zhǎng)達(dá)5008,覆射離子泵的放電特點(diǎn)見(jiàn)圖241,因而,圓? 射離子泵的啟動(dòng)壓力不可以太高,也不可以過(guò)低,濺射離子泵啟動(dòng)艱難的緣故有下列

幾個(gè)方面,
(1)啟動(dòng)壓力過(guò)高? 濺射離子泵一切正常啟動(dòng)壓力要小于10-1Pa。在1~10-Pa壓力范疇內(nèi),陽(yáng)極氧化單? 元放電主要是輝光放電,這類壓力下受電路的限定,工作電壓很低,啟動(dòng)電流量很? 大,啟動(dòng)受電路的限定。伴隨著壓力的減少,從輝光放電慢慢銜接到潘寧放? 電,放電電流量隨壓力的減少而降低,工作電壓慢慢修復(fù)到額定電流(一般為6~9kV)? 高過(guò)1Pn啟動(dòng),務(wù)必尤其當(dāng)心,由于高壓力下啟動(dòng),離子流強(qiáng),使抽真空模塊發(fā)? 熱,會(huì)造成原來(lái)吸咐在鈦膜內(nèi)的汽體很多釋放,放空氣又造成更強(qiáng)的離子流,使抽
氣模塊溫度進(jìn)一步上升,那樣的兩極化,可能快速產(chǎn)生負(fù)極“穿透”。即便 泵
原來(lái)的抽供氣量較小,放氣速度不高,也會(huì)因髙壓下泵的泵效小,導(dǎo)致說(shuō)白了的“緩
慢啟動(dòng)”。
過(guò)高的啟動(dòng)壓力,造成泵內(nèi)部件發(fā)燙放氣導(dǎo)致的啟動(dòng)艱難,能用高機(jī)械泵作前面泵減少啟動(dòng)壓力的方法加以解決。國(guó)內(nèi)濺射離子泵的生產(chǎn)商得出的啟動(dòng)壓力范? 圍小于5×10-4~7×10-5Pa。
(2)真空泵器皿容積過(guò)大
容積過(guò)大造成啟動(dòng)時(shí)間太長(zhǎng),能換用泵效更高的預(yù)抽泵,必需時(shí)在預(yù)抽環(huán)節(jié)加? 熱烤制器皿,清除器皿內(nèi)很多排氣后再啟動(dòng)離子泵? (3)泵在濕冷空氣中停車時(shí)間太久
濕冷自然環(huán)境標(biāo)準(zhǔn),或是泵清理后初次運(yùn)行,因?yàn)楸脙?nèi)各構(gòu)件消化吸收了很多水份,造? 成啟動(dòng)艱難,解決方案可在預(yù)抽真空的另外加溫烤制。除此之外,平常應(yīng)當(dāng)留意泵終止運(yùn)? 轉(zhuǎn)期內(nèi)盡可能不曝露空氣。若因拆換產(chǎn)品工件短期內(nèi)曝露空氣,能用預(yù)抽泵提成低真空泵
(4)預(yù)抽機(jī)械設(shè)備油閥環(huán)境污染
前面真空泵的油蒸汽環(huán)境污染了鈦負(fù)極板也會(huì)使啟動(dòng)艱難?？稍诳諝饫锛? 熱,400℃烤制2h,消除油空氣污染物。較好是的方式是盡可能選用隔膜真空泵前面泵作預(yù)